國(guó)產(chǎn)MOCVD重大突破 理想能源MOCVD樣機(jī)通過(guò)驗(yàn)收
日前，《解放日?qǐng)?bào)》報(bào)道稱北京市科委2010年度重大科技攻關(guān)項(xiàng)目“MOCVD生產(chǎn)性樣機(jī)研制”通過(guò)驗(yàn)收。該項(xiàng)目主要由理想能源設(shè)備(上海)有限公司承擔(dān)。
通過(guò)2年攻關(guān)，現(xiàn)已成功開(kāi)發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD反應(yīng)腔，在多項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備技術(shù)和工藝技術(shù)上取得重要突破。
該項(xiàng)目標(biāo)志著LED半導(dǎo)體外延片和芯片的核心生產(chǎn)設(shè)備MOCVD已基本實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，打破對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴，有助于我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。
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