三氧化鎢陶瓷常壓燒結(jié)

 陶瓷常用的燒結(jié)工藝有：常壓燒結(jié)法、氣氛常壓燒結(jié)法、反應(yīng)燒結(jié)法和熱壓燒結(jié)法等。因?yàn)槿�氧化鎢（WO3）在高溫下升華，且容易失氧，為了保證制備的三氧化鎢陶瓷靶材為高密度靶材，采用全程通氧燒結(jié)的方法。

為了達(dá)到燒結(jié)過(guò)程得到高純度和高密度的三氧化鎢陶瓷靶材，從燒結(jié)方式和承燒板兩方面考慮。采用常壓燒結(jié)的方式，在管式爐中進(jìn)行全程通氧燒結(jié)。氧氣氣氛可以抑制高溫下氧化鎢的升華以及三氧化鎢的失氧，是制備高密度氧化鎢靶材的重要條件。燒結(jié)過(guò)程中，考慮到承燒板與WO3之間也會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)，一方面，適當(dāng)降低燒結(jié)溫度或者選擇更穩(wěn)定的承燒板，另一方面，在燒結(jié)試樣下部鋪一層WO3粗粉，較好的解決了上述問(wèn)題，從而確保燒結(jié)靶材的高純度。
 
圖為WO3壓坯的燒結(jié)工藝曲線，具體燒結(jié)工藝為：升溫階段，升溫速率為3.9℃/min；升溫至設(shè)置溫度后保溫2h；降溫階段，在設(shè)定溫度隨爐冷卻至室溫。通過(guò)分析可知：當(dāng)壓坯密度在63%以上，且燒結(jié)溫度在1150℃以上時(shí)，可以得到超高致密度（相對(duì)密度大于99%）的WO3靶材。