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新型二硫化鉬薄膜的可控制備

若想進(jìn)一步提高二硫化鉬薄膜(MoS2薄膜)的半導(dǎo)體性能,可以通過調(diào)節(jié)層數(shù)與堆垛結(jié)構(gòu)。研究表明,與單層、雙層AA堆垛結(jié)構(gòu)的MoS2相比,三層MoS2具有更好的可調(diào)性、更高的光響應(yīng)率和探測(cè)率等特點(diǎn),更適合構(gòu)築可調(diào)諧光電晶體管。

新型二硫化鉬薄膜的可控制備圖片

作爲(wèi)低維度過渡金屬硫族化合物的典型代表,二硫化鉬因具有原子級(jí)厚度、獨(dú)特的三明治晶體結(jié)構(gòu)、可調(diào)的帶隙寬度與電子結(jié)構(gòu)等,而表現(xiàn)出了優(yōu)異的電學(xué)與光電性能,被廣泛認(rèn)爲(wèi)是在未來足以取代矽成爲(wèi)後摩爾時(shí)代的最重要半導(dǎo)體材料之一。注意:層數(shù)和堆垛結(jié)構(gòu)不同的MoS2的電學(xué)與光學(xué)性質(zhì)也不相同。

目前,MoS2單晶薄膜主要是通過化學(xué)氣相沉積法(CVD)製備的,但由于貝塞爾平面(Basal Plane)呈現(xiàn)出了化學(xué)惰性,所以很難實(shí)現(xiàn)不同層數(shù)及堆垛結(jié)構(gòu)MoS2的可控制備。

針對(duì)現(xiàn)有化學(xué)氣相沉積法的不足,有研究者對(duì)它進(jìn)行了改良,通過引入NaCl,使其與氧化後鉬箔反應(yīng)生成MoOxCly來作爲(wèi)誘導(dǎo)MoS2生長(zhǎng)的前驅(qū)體,實(shí)現(xiàn)了超過99.5%的AA堆垛結(jié)構(gòu)MoS2薄膜,且其層數(shù)僅與生長(zhǎng)時(shí)間相關(guān)的可控制備。

新型二硫化鉬薄膜的可控制備圖片

在此基礎(chǔ)上,研究者構(gòu)築了一系列層數(shù)的AA堆垛結(jié)構(gòu)MoS2光電晶體管,研究了不同層數(shù)AA堆垛結(jié)構(gòu)的MoS2內(nèi)建電場(chǎng)及外場(chǎng)的調(diào)控與不同光場(chǎng)下的光電性質(zhì)。其高光響應(yīng)率、高光探測(cè)率展示出了AA堆垛結(jié)構(gòu)MoS2優(yōu)異的光電探測(cè)性能。另外,將電場(chǎng)與光場(chǎng)進(jìn)行耦合,展示了光與電場(chǎng)對(duì)AA堆垛結(jié)構(gòu)MoS2的協(xié)同調(diào)控機(jī)制,幷實(shí)現(xiàn)了對(duì)其外量子效率以及光生載流子的調(diào)控。

評(píng)論被關(guān)閉。

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